기술 매개변수 단위 반응 소결
실리콘 카바이드
SiC
소결 실리콘
카바이드
SSiC
반응 소결
실리콘 카바이드
+ 흑연
SiC+C
소결 실리콘
카바이드
+ 흑연
SSiC+C
다공성 소결
실리콘
카바이드
QSSiC+C
경도 HS 110 115 ≥ 105 ≥ 110 ≥ 100
기공률 % < 0.3 < 0.2 < 0.5 < 0.5 < 5
밀도 g/cm³ 3.00-3.05 > 3.10 2.69-2.90 2.70-3.0 2.65
압축 강도 MPa > 2200 > 2500 > 1400 > 1600 > 800
파괴 강도 MPa > 350 > 380 > 150 > 160 > 100
열팽창 계수 10⁻⁶/°C 4 4.2 3.5 3 2.5
SiC 함량 % ≥ 90 ≥ 98 ≥ 85 ≥ 92 ≥ 90
유리 Si (Free Si) % ≤ 10 ≤ 1 ≤ 12 / /
탄성 계수 GPa ≥ 400 ≥ 410 ≥ 350 ≥ 360 ≥ 180
온도 °C 1300 1400 1300 1400 1400

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